The noise,the signal,and the minimum detectable deflection (MDD) of piezoresistive cantilever are studied.
采用ANSYS有限元分析系统对微压阻悬臂梁进行应力分析 ,并对压阻悬臂梁的噪声、灵敏度以及最小可探测位移进行了研究 。
