full wafer mask是什么意思

中文翻译整片掩模

网络释义

1)full wafer mask,整片掩模2)mask picture,掩模图片3)reticle-wafer,掩模硅片4)mask and wafer,掩模与硅片5)frequency-plane mask,频面掩模片6)wafer to mask gap,薄片掩模间隙

To improve the alignment accuracy,an automatic alignment algorithm for 100 nm CD reticle-wafer was constructed.

为了改善对准精度,对100nm级线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴离轴混合对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中。