A CMOS front end buffer circuit and the summing increase Δ static electric force feedback system are.
本文介绍了一个体加工工艺的微机械敏感元件(包括一个差动电容结构);分析了一种CMOS前置缓冲放大器和增量求和(Δ)原理的静电力反馈系统并且用计算机进行了仿真;同时对系统噪音进行了讨论。
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