1)parallel plate reactive ionetching system,平行板反应性离子蚀刻系统2)reactive ion beam etching system/RIBE system,反应性离子束蚀刻系统3)reactive ion etching system/RIE system,反应性离子蚀刻系统/RIE 系统4)hexode type reactive ion etching system,六角柱型反应性离子蚀刻系统5)magnetron enhanced reactive ion etaching system,磁控管增强型反应性离子蚀刻系统6)narrow gap reactive ion etching system,狭窄间隙反应性离子蚀刻系统
