open cassette是什么意思

网络释义

1)open cassette,开放式晶圆匣2)wafer cassette,晶圆匣3)cassette transfer,晶圆匣盒传送机4)cassette/magazine,晶圆匣盒/晶圆收纳盒5)box switch,匣式开关，盒形开关6)BOT,Cartridge,匣带开始